冷却水中用到可控硅中频电源
可控硅中频电源大多采用水冷却。冷却水的电阻率应大于20ΚΩ＆#183;cm，PH值为6－8，如条件允许，最好使用蒸馏水，以防长期运行中产生水垢，堵塞管路。进出水的压力、水温应满足产品说明书的要求。水管的进出口要尺量等电位，如电位不等，为保证相间不短路，水管长度应在400mm以上。要注意水管和水箱的保暖，防止冻结。夏季因水温与环境温度相差较大，在水冷散热器表面可能出现凝露而降低中频电源装置的耐压，严重时可能引起短路，因此需采取加强通风或其他降温措施。
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